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나노계면 형성을 위한 초음파 진동자 위치보정을 위한 레이저 스캐닝 기술
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  • 나노계면 형성을 위한 초음파 진동자 위치보정을 위한 레이저 스캐닝 기술
저자명
김경한,이제훈,김현세,박종권,윤광호,Kim. Kyugnhan,Lee. Jaehoon,Kim. Hyunse,Park. Jongkweon,Yoon. Kwangho
간행물명
한국정밀공학회지
권/호정보
2014년|31권 12호|pp.1121-1126 (6 pages)
발행정보
한국정밀공학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

To compensate location error of ultrasonic horn, the laser scanning system based on the galvanometer scanner is developed. It consists of the 3-Axis linear stage and the 2-Axis galvanometer scanner. To measure surface shape of three-dimensional free form surface, the dynamic focusing unit is adopted, which can maintain consistent focal plane. With combining the linear stage and the galvanometer scanner, the scanning area is enlarged. The scanning CAD system is developed by stage motion teaching and NURBS method. The laser scanning system is tested by marking experiment with the semi-cylindrical sample. Scanning accuracy is investigated by measured laser marked line width with various scanning speed.